НИИМЭ положит 2 млрд руб. Минпромторга в "Карман-АЛ"
Шифр, который присвоил этой работе государственный заказчик, - "Карман-АЛ".
Пресс-служба ПАО "Элемент" сообщила, что эта кластерная установка, которая будет состоять из восьми модулей, является первой в РФ. Новое оборудование позволит выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 180-90 нм на пластинах диаметром 200 мм. Пока НИИМЭ - головной исполнитель контракта с Минпромторгом - получил от этого министерства 150 млн руб. в качестве аванса за первый этап работ, и еще 150 млн руб. ожидает к завершению этого этапа 30 октября 2026 г.
Минпромторг объявил конкурс на опытно-конструкторскую работу (ОКР) "Разработка промышленно-ориентированного кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом PVD" под шифром "Карман-АЛ" в конце 2025 г. 24 декабря прошедшего года министерство заключило контракт с АО "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (НИИМЭ) как с единственным поставщиком.
По условиям контракта, правительство России в лице Минпромторга вложит в проект 1,991 млрд руб. - с условием, что НИИМЭ и иные предприятия - прежде всего, АО "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" (НИИТМ) - дополнительно инвестируют средства в размере 25% от этой суммы, то есть еще почти 498 млн руб.
Госзаказчик ожидает исполнения контракта в пять этапов, с окончанием 30 октября 2026, 2027, 2028, 2029 и 2030 годов. По каждому этапу Минпромторг будет вносить 50%-ый аванс, а общая сумма государственного финансирования по этапам составит, соответственно, 300; 360; 540; 590 и 201,5 млн руб.
Кредит доверия
Несмотря на то, что Минпромторг назначил НИИМЭ единственным поставщиком по этому контракту, в обосновании максимальной цены контракта министерство сообщило, что в августе 2025 г. запросило предложения о цене у семи организаций, специализирующихся на выполнении аналогичных работ.
Минпромторг не назвал эти предприятия, но привел их ценовые предложения. Интересно, что цены от "великолепной семерки" оказались очень близкими: от 1,98 млрд руб. до 2,002 млрд руб. Расчет начальной цены контракта на основании всех предложений выполнил начальник отдела развития оборудования для радиоэлектронной промышленности Департамента станкостроения и тяжелого машиностроения Минпромторга России Владимир Михайлов.
Контракт с НИИМЭ со стороны государства подписала заместитель директора Департамента станкостроения и тяжелого машиностроения Минпромторга Фатима Дзодзикова. Контракт стал частью госпрограммы "Научно-технологическое развитие Российской Федерации". В качестве обеспечения исполнитель внес 199,15 млн руб.
Не прошло и нескольких дней с момента заключения контракта почти на 2 млрд руб. между Минпромторгом и НИИМЭ, как крупнейший пакет акций материнской компании последнего - ПАО "Элемент" - купил Сбербанк. При этом банк полностью выдавил из капитала "Элемента" Акционерную финансовую корпорацию (АФК) "Система", созданную олигархом Владимиром Евтушенковым. О закрытии сделки Сбербанк сообщил 22 января 2026 г.
https://www.comnews.ru/content/243404/2026-01-23/2026-w04/1010/sber-pri…
Между тем в госконтракте с Минпромторгом в качестве банковских реквизитов для оплаты указан счет НИИМЭ в Банке ВТБ (в филиале "Центральный").
Секреты мастерства
По данным компании In Line, процесс вакуумного напыления (physical vapor deposition, PVD) представляет собой перенос атомов или молекул вещества на основу. Исходный материал переводится в газовое состояние и наносится на подложку несколькими методами. В частности, для вакуумного напыления алюминия ("вакуумной металлизации") обрабатываемый материал бомбардируется заряженными частицами алюминия.
"В контексте современной инженерии износостойкие покрытия на базе PVD технологии особенно зарекомендовали себя в случаях, где детали подвергаются интенсивным нагрузкам. Например, в электронике они защищают компоненты от различных факторов воздействия. Процесс протекает в вакуумной камере, предотвращая взаимодействие с атмосферой и гарантируя чистоту слоя", - уточнило ООО "Горизонт покрытий".
По сообщению пресс-службы ПАО "Элемент", ключевым преимуществом нового оборудования станет конфигурация транспортной системы: два распределительных модуля, разделенные буферной камерой, обеспечат высокий уровень вакуума, что позитивно скажется на чистоте и качестве получаемых пленок. "Данное решение позволит разместить до восьми технологических модулей и два шлюза загрузки‑выгрузки пластин.
В состав кластерного комплекса будут также входить два робота-манипулятора, которые обеспечат высокую производительность процессов. Благодаря модульному принципу возможно изменение конфигурации или модернизация оборудования для выполнения новых производственных задач. При этом за счет дублирования части модулей установка продолжит работать даже во время техобслуживания, что повышает ее надежность и общую эффективность", - разъяснила пресс-служба "Элемента".
В ходе работы специалисты НИИТМ займутся разработкой конструкторской документации, созданием макетов ключевых узлов, изготовлением опытного образца установки и проведением предварительных испытаний. Ученые и инженеры из НИИМЭ сформулируют технические требования к оборудованию, подготовят программы испытаний и выполнят полный цикл технологических тестов кластера.
"Создание отечественной кластерной установки для магнетронного нанесения слоев алюминиевой металлизации станет важной составляющей развития микроэлектроники в России, - заявил генеральный директор АО "НИИТМ" Михаил Бирюков. - Разработка кластерного оборудования с восемью технологическими модулями - это новый вызов, который требует решения ряда комплексных научно-технических задач. В НИИТМ уже сформирована команда высококвалифицированных специалистов и наработаны профессиональные компетенции по созданию кластерного оборудования, которые позволяют нам внести вклад в разработку перспективного и важного для отрасли оборудования".
"Мы продолжаем крайне важную работу по созданию отечественного электронного оборудования. В прошлом году мы завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ), заложив основу для развития отечественной производственной линейки. Теперь мы приступаем к разработке новой установки, которая будет работать с пластинами диаметра 200 мм, и, уверен, будет востребована предприятиями и в России, и за рубежом", - подчеркнул генеральный директор АО "НИИМЭ" Александр Кравцов.
О том, что НИИМЭ и НИИТМ, также впервые в России создали кластерные системы для ПХО и ПХТ, способные выпускать чипы с проектными норами до 65 нм, на кремниевых пластинах диаметром 200 мм и 300 мм, портал ComNews сообщил в середине декабря 2025 г. Объем инвестиций в тот проект превысил 2,5 млрд руб., причем всю сумму вложил федеральный бюджет в лице Минпромторга: 1,2 млрд руб. по госконтракту на создание ПХО и 1,3 млрд руб. – на ПХТ. Дополнительно НИИМЭ и НИИТМ вложили собственные средства в подготовку помещений (прежде всего - чистые комнаты), а также в капитальное строительство.
https://www.comnews.ru/content/242884/2025-12-11/2025-w50/1008/niime-i-…
